วาล์ววัดด้วยการควบคุม Ultra-Pure สําหรับระบบทําความสะอาดส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่มีการป้องกันมลพิษ

ออกแบบโดยเฉพาะสําหรับระบบทําความสะอาดส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่ทํางานกับครึ่งตัวนําและแผ่นวงจรวาล์วเมตรของเรารับประกันการควบคุมของเหลวทําความสะอาด ultra-บริสุทธิ์ในขณะที่ป้องกันการปนเปื้อนวาล์วมีช่องภายในที่บริสุทธิ์สุดที่มี Ra 0.05μm การเคลือบและ PFA ผนังเพื่อป้องกันการหลุดของอนุภาค (≤ 1 อนุภาค / ml, ≥ 0.5μm) ที่อาจทําลายครึ่งประสาทที่มีความรู้สึก

เหมาะสมกับน้ํา DI (18.2MΩ*cm) และ IPA วาล์วใช้ปริมณฑล perfluoroelastomer ที่ตรงกับมาตรฐานการทําความสะอาดอิเล็กทรอนิกส์ SEMI F021.ความสามารถในการรับผิดพลาด 1% มันปรับตัวอย่างสมบูรณ์แบบกับความต้องการในการทําความสะอาดชิ้นส่วนเล็ก ๆ ออกแบบป้องกันมลพิษการรักษาระดับความบริสุทธิ์ที่ดีที่สุด.

• ช่องที่บริสุทธิ์สุด (Ra 0.05μm) กับผนัง PFA รับรองการควบคุมการปนเปื้อน ≤1 อนุภาค/มิลลิตร
• ผนึกเปอร์ฟลูออเลสโตเมอร์ DI ที่เข้ากันได้กับน้ํา/IPA ตอบสนองมาตรฐาน SEMI F021
• การควบคุมการไหลของความละเอียด (0.1-10mL / นาที, ± 0.1% ความผิดพลาด) ปรับตัวให้กับองค์ประกอบไมโครอิเล็กทรอนิกส์
• การออกแบบกระแสลุ้นวงจรปิดรักษาความบริสุทธิ์ของน้ํายาทําความสะอาดโดยหลีกเลี่ยงการสัมผัสอากาศ
• เครื่องทําความสะอาด ultrasonic สําหรับกระบวนการอัตโนมัติ