วาล์วแก๊สขนาดเล็ก 1 นิ้ว ความบริสุทธิ์สูงสุด สําหรับโรงงานผลิตครึ่งตัวนําและห้องปฏิบัติการวิเคราะห์ที่มีพื้นผิวเคลือบไฟฟ้าและการติดตามอนุภาค

ออกแบบมาอย่างแม่นยำสำหรับสภาพแวดล้อมที่ไวต่อการปนเปื้อน วาล์วแก๊สเบาขนาดหนึ่งนิ้วนี้ ช่วยให้มั่นใจในความสมบูรณ์ของระบบการกระจายแก๊สที่สำคัญ ด้วยสแตนเลส 316L-VAR พร้อม<0.5 Ra µm ขัดเงาด้วยไฟฟ้า วาล์วแก๊สบริสุทธิ์สูงนี้ บรรลุมาตรฐานอนุภาค Class 1/ISO 2 สำหรับแก๊สกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ การออกแบบซีลรูปกรวยแบบปรับแนวเองช่วยขจัดรอยสัมผัสโลหะต่อโลหะ ป้องกันการสร้างอนุภาครวมถึงการทำงานมากกว่า 100,000 ครั้ง ในฐานะที่เป็นวาล์วแก๊สในห้องปฏิบัติการ ที่จำเป็น มันมีซีลหน้าแบบ VCR เพื่อความสมบูรณ์แบบในการรั่วไหลของฮีเลียมถึง 1x10⁻⁹ atm-cc/sec He รักษาความบริสุทธิ์ในระดับ ppb สำหรับแก๊สพิเศษ เช่น อาร์ซีนและไซเลน ซีลก้าน PTFE ที่ไม่หลุดร่อนและการกำหนดค่า zero-dead-leg เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI F72 รวมถึงพอร์ตตรวจสอบอนุภาคในตัวสำหรับการตรวจสอบการปฏิบัติตามมาตรฐาน ISO 14644-1 Class 3 ในสถานที่ระหว่างการติดตั้งในห้องคลีนรูมของเซมิคอนดักเตอร์ ช่างเทคนิคติดตั้งวาล์วโดยใช้เครื่องนับอนุภาคเพื่อตรวจสอบการปนเปื้อนเป็นศูนย์ระหว่างการติดตั้งสายแก๊สผลิตชิป 5nm✓ 

ความสะอาดระดับนาโน
: เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI F72 0.1μm ต่อลิตร (ต่อ IEST RP CC001.6)✓ <5 particles>การซีลแบบแน่นหนา
: เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI F72 ✓ ภูมิคุ้มกันต่อการกัดกร่อน
: เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI F72 ✓ การทำงานแบบไร้การสั่นสะเทือน
: เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI F72 ✓ ผ่านการพิสูจน์แล้วใน Fab
: เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI F72 วาล์วแก๊สในห้องปฏิบัติการสถานการณ์การใช้งาน:ในห้องคลีนรูมของเซมิคอนดักเตอร์ ช่างเทคนิคติดตั้งวาล์วโดยใช้เครื่องนับอนุภาคเพื่อตรวจสอบการปนเปื้อนเป็นศูนย์ระหว่างการติดตั้งสายแก๊สผลิตชิป 5nm

คำถามที่พบบ่อย:
ถาม: การรับรองอนุภาคใดบ้างที่มาพร้อมกับวาล์วแก๊สบริสุทธิ์สูงนี้

ตอบ: รายงาน IEST-CC0016 Class 1 พร้อมข้อมูลการกระจายอนุภาค 0.1-5.0μm

ถาม: วาล์วแก๊สในห้องปฏิบัติการ
 ของคุณเข้ากันได้กับสารเติมแต่งที่เป็นพิษหรือไม่

ตอบ: ใช่ ออกแบบมาสำหรับแก๊ส SEMI S2 Category 1 พร้อมความเข้ากันได้ของวัสดุอย่างเต็มที่ถาม: ฉันสามารถรวมการตรวจสอบอนุภาคโดยไม่ขัดจังหวะกระบวนการได้หรือไม่ตอบ: ได้ พอร์ตตัวอย่างช่วยให้สามารถตรวจสอบในสถานที่ได้ตามมาตรฐาน ISO 14644-1
ถาม: ประสิทธิภาพการปล่อยแก๊สเป็นอย่างไร

ตอบ:
<1x10⁻⁹ g/cm²/sec TML/CVCM ตาม NASA-STD-6001B

ถาม: คุณมีโปรโตคอลการควบคุมการปนเปื้อนในการติดตั้งหรือไม่
ตอบ: มีชุดติดตั้งที่สอดคล้องกับ ISO 14644-5 โดยละเอียด